
硅片大小:4*3*0.5mm,图案由铝金属制的(高度大约90nm,宽75nm,此参数无校准,注意,其图案布满硅片),2D全息阵列,间距144nm,表层喷镀钨膜,精确度±1nm。
提供的产品有两种:Model 150-2D和Model 150-2DUTC,其中的Model 150-2D校准标样, 带有制造商的认证, 不可溯源;Model 150-2DUTC校准标样, 认证, 可溯源, 提供证书(PTB,a German counterpart of NIST)。
我们推荐Model 150-2D,其***的特性使应用非常方便,标样结实耐用,可以在接触模式扫描,提供快速校准和测量:
l 2D模式,X轴和Y轴同时校准
l 即使探针钝化也不影响像对比度
l 接触扫描可以得到高对比度像
l 整片布满式节省寻找扫描区域的时间
l 不仅*高倍率应用,中等倍数5 kX时,单个圆体仍可清楚分辨
订购信息:
货号 产品名称 规格
80125-2D Model 150-2D, 144nm高分辨2D校准标样,Unmounted 个
80125-2D-X 同上,可以提供带销钉样品台的;或者***AFM的(15mm不锈钢disk);或者指定样品台 个
80126-2D Model 150-2DUTC,144nm高分辨2D校准标样,Umounted 个
80126-2D-X 同上,可以提供带销钉样品台的;或者***AFM的(15mm不锈钢disk);或者指定样品台 个
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