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高纯氩气在半导体制造业中扮演着不可或缺的角色。由于其化学性质极为稳定,不易与其他物质发生反应,高纯氩气被***用作半导体生产过程中的保护气和载气。在晶圆刻蚀、离子注入、化学气相沉积等关键工艺步骤中,高纯氩气能够有效防止空气中的氧气